洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
什么是无尘室(无尘车间)?无尘等级划分标准是什么?
无尘车间(洁净室)等级大体可以分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小,洁净等级越高。
10级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体工业。百级洁净室可用于工业的无菌制造工艺等,这一洁净室净化工程大量应用于,手术室,包括移植手术,集成器的制造、隔离病房等等。
管道穿越洁净室(区)墙体、吊顶、楼板和特殊构造时,应符合下列要求:
(1) 管道穿越伸缩缝、抗震缝、沉降缝时应采用柔性连接;
(2) 管道穿越墙体、吊顶、楼板时应设置套管,套管与管道之间的间隙应采用不易产尘的不燃材料密封填实;
(3) 管道接口、焊缝不得设在套管内。
安装于洁净室(区)的管道、支吊架材料应采用不易生锈、产尘的材料,外表面应光滑、易于清洁。
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