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爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。

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爱德华BOC Edwards epx180LE干式真空泵维修

数据:

进气法兰ISO63

出口法兰NW25

噪声<59分贝(A)

zui小冷却水流量2升/分钟-1

冷却水温度15-35°C

电力供应200/208 V,50/60 Hz三相

电机额定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX爱德华干泵功能和优势:

可兼容的网络 - EPX 系列配有zui终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。

紧凑的占地面积 – 作为可用的zui小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

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