该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成,在重合室中放置对象物品,在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后,升高汽化炉的温度(120~180℃),使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室,通过高温(650~700℃)分解炉后,生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触,其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合,形成高分子量的聚对二树脂膜。
真空蒸镀基本原理:在真空条件下,使金属、金属合金等蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,电子東轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,历,真空蒸镀是PVD法中使用早的技术。
溅射镀膜基本原理:充(Ar)气的真空条件下,使气进行辉光放电,这时(Ar)原子电离成氮离子(Ar),离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在10-2pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。
真空绝缘是利用真空条件下不存在或微量存在粒子,而避免在一定的电场作用下形成的带电粒子移动而导致电流放电,从而达到绝缘的目的。该绝缘方式不同于固相、液相和气相的绝缘机理,对于航天电子产品的特殊的外层空间工作条件,真空绝缘机理可以得到充分的利用。通过真空镀膜设备,在真空绝缘实施过程中,为了保证电极表面的“洁净”,通过对表面采用了真空气相沉积工艺,在表面形成一定厚度的Parylene材料的涂层防护,避免了电极表面的粒子放电,阻止电极之间表面爬电的条件,通过试验验证,获得了较理想的真空绝缘性能,满足了产品的实际应用。实践证明,利用Parylene材料进行配合真空绝缘的实施,在工程上是一种新的有效的绝缘方式的尝试。密封树脂以多种不同的化学类型出现,包括环氧树脂、聚氨酯和硅树脂。通常,环氧树脂在机械影响方面提供更坚固的保护,但是它们没有其它化学品的柔性,这可能导致热循环期间的问题。此外,标准环氧树脂系统不能提供其他系统的清晰度和颜色稳定性。
树脂确实有的透明度,并且在温度下表现良好,而聚氨酯树脂在恶劣环境中提供良好的柔韧性、透明度和高水平的保护。我们做了实验得出:三种树脂化学类型在暴露在紫外线1000小时后,通过检查树脂的颜色差异,三种树脂化学类型的透明度差异,从而突出了每种树脂在室外条件下的稳定性。硅树脂和聚氨酯树脂显然优于标准环氧树脂体系。
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