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分子真空泵是在 1911 年由德国人 (w · Gaede) 盖德首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

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Varian TV 301 Navigator涡轮增压泵维修，VARIAN分子泵一体化转子 瓦里安的***切割工具以及 EDM 工艺,结和完善的 CAD/CAM 制造手段,可将一块高科技含量的铝合金原材料加工成为整体型转子。

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真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。

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TV 301导航器不含污染物，因此适用于需要“清洁”真空的应用。它配备有辅助连接器，以提供一个附加的风扇，以控制排气阀，该风扇通过通过串行线（RS232或RS485）连接的主机从远程站点进行控制。TV 301 Tubro泵有四种型号，仅高真空法兰有所不同。该泵由一个高频电动机组成，该电动机驱动装有8个叶片级和3个Macrotorr级的涡轮机。从高真空法兰端看时，涡轮沿逆时针方向旋转。该涡轮机由高强度铝合金制成，并由一个整体加工而成。Macrotorr阶段为四个光盘的形式。涡轮转子由永jiu润滑的高精度陶瓷球轴承支撑，该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式，具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。

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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。