广州潽拓光电科技有限公司——varian分子泵养护
Varian Turbo-V300HT瓦里安涡轮分子泵有二种法兰口(IS0160/IS0100)分别抽速可达到280L/s/250L/s,转速为56000rpm,极限压力1X10-10pa
Varian Turbo-V300HT涡轮转子都用单一块铝合金整体加工而成, 重量小化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整,整体化设计降低了作用在材料和轴承上的压力,可靠性。
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我们代理及维修的分子泵维修品牌有:
法国阿尔卡特:Alcatel Adixen
英国爱德华: Edwards
日本精工,岛津,大阪及荏原 : Seiko Seiki Shimadzu Osaka Ebara
德国莱宝,普发: Oerlikon Leybold Pfeiffer Balazer
意大利瓦里安: Varian
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电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
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Varian TV801真空分子泵 的涡轮转子采用Varian砖利的“MacroTorr”技术设计加工而成,整个涡轮转子整体成型,共有由12层叶片组成,qian八层为标准叶片,每层的角度从高到低,后四层为Varian 砖利技术的“Macrotorr”die片组成,涡轮转子其在分子泵内部以38000转/分钟的速度高速旋转
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无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案,安捷伦都可提供相应的解决方案。
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瓦里安Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的***分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。
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Varian TV-301 Navigator分子泵,瓦里安TV-301 Navigator进气法兰口CF8/ISO160,出气法兰口KF16/KF25,抽速可达到280L/s,转速为56000rpm
一般真空泵噪音大有以下几个原因:
叶片损坏,轴承损坏,端盖和转子磨损,
真空泵发热的原因:
看您的真空泵油是不是已经积碳了,轴承损坏,,转子与端盖摩擦,散热风扇断裂,散热油管堵塞
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