派瑞林(PARYLENE)真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面。它以真空技术为基础,采用物理或化学方法,吸收了电子束、分子束、离子束、等离子体束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供了一种新的薄膜制备工艺。简而言之,金属、合金或化合物在真空中蒸发或溅射,从而可以沉积在被涂覆的物体(称为基底、衬底或基体)上
光学镀膜技术常用的方法是真空溅射镀膜玻璃基片,一般用来控制基片对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损耗,提高成像质量,涂覆一层或多层透明介质膜,称为减反射膜或减反射膜。
现代科学技术,特别是航天航空、电子及等科学技术高速发展对材料提出新的要求,尤其是航天航空工业对材料的要求更为苛刻。首先是要求材料性能稳定,同时具有重量轻、耐高温、耐冲刷、抗辐射等综合的优良性能。陶瓷涂层由此应运而生。
陶瓷涂层是在传统的陶瓷材料基础上发展起来的新型复合材料,它即保持了传统陶瓷材料的耐高温、抗磨损、耐腐蚀等优点,同时保持了基体材料的结构强度,由于陶瓷涂层的厚度通常都在1毫米之内,大大地减少了零件的消极重量,其抗热冲击性能优于整体陶瓷。
表面科学是在固体物理等许多科学基础上发展起来的新科学,其研究对象是各种各样的表面。真空镀膜技术为制造各种各样的清洁表面提供了手段。特别是20世纪70年代在真空镀膜基础上发展起来的分子束外延技术,用他不值可以特备可控制的超薄薄膜、原子级平整度的表面、上百层的叠加膜,而且还可以控制薄膜的成分和亚比。这些薄膜的制备均为科学的研究和发展提供了充分的条件。
真空搜膜技术在其他科学领域中的应用亦很广泛。例如,电子显微镜的标本必须经过真空镀膜处理才能观察﹔激光器需要镀上精密控制的光学膜层才能使用;太阳能利用也与真空镀膜技术息息相关。
采用派瑞林(Parylene)封装的用于人工耳蜗植入的电极阵列,由于派瑞林涂层较低的杨氏模量,使得电极探针具有很好的硬度和韧性,同时可通过调整硅衬底的厚度来调整电极的柔软性,为制备的派瑞林(Parylene)涂层包裹的微电极阵列。派瑞林(Parylene)涂层所具有的透明性,使得在植入试验中能很好地监测探针植入深度,同时,电极被派瑞林(Parylene)涂层包裹,即使电极破碎,外层派瑞林(Parylene)涂层也将碎片连在一起,从而减小手术伤害和植入伤害。整个装置集成了位置传感器和派瑞林涂层包裹的传输线,实验表明,该装置能够提高人工耳蜗声音识别能力和位置的准确性。在制作多通道听觉假体时,变长度的神经刺激电极阵列也采用派瑞林涂层作为刺激电极的包裹材料,从而提高植入器件的生物相容性。