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Alcatel ATH1300M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1300MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN250ISO-K/DN250CF,出气法兰口DN40 ISO-KF,抽速可达到1350 L/s,极限压力6.10-6 mTorr/8.10-9 mbar
真空泵易漏气的部位有:焊缝起焊及收焊部位,两条焊缝交叉点,波纹管焊接部位,管接头焊缝,受运动影响的钎焊焊缝。法兰密封或动密封处,如果安装前仔细清洗,装配合理,这种部位不易漏气。金属一陶瓷、金属一玻璃封接处,如引出电极、规管的高压引线,管脚,管帽等处。受冷、热冲击影响的焊缝。Alcatel ATH1300M维修
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。Alcatel ATH1300M维修
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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组,这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修 ,而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修
转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管,用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器,通过密封良好的油泵,再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后,随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵维修
这不仅将转子的热量带走,同时在两个转子表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽,收集废油,经过过滤,冷却后重新循环使用。此种方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵维修 ,但由于泵内有油,失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度,对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力,当然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵维修
所使用的油,要求饱和蒸汽压应尽量代。
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真空泵选型前,先来弄清楚几个基础概念: 真空 现实中是不存在真正的真空的,通常我们把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的状态都称之为真空状态。进口泵维修
避免真空泵温度过高:较为非常容易了解这一点,半导体材料在真空泵的运用中,有害物质比较多,而不论是干试真空泵還是骨架密封机械泵,泵腔内温度过高,高溫下物品及有害气体便会非常容易产生风险。 进口泵维修
容积式真空泵
容积式真空泵适用于低真空的泵速较慢的场合,主要用来创建中等至低真空环境。容积式真空泵使用气体压缩作为原理,通过泵出气体并将其压缩进入泵房,从而实现真空抽取。
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