英福康氦气检漏仪

UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪，长久以来，INFICON泄漏检测技术一直是高性能和易用性方面的标干。UL3000 Fab有着当今市场上极快的泄漏检测速度，可提供最加用户体验。UL3000 Fab专为满足半导体制造领域的专业要求而开发，如半导体和光电显示(包括子部件)的泄漏测试。

UL3000 FAB ULTRA 的附加优越性。

·较早地起始泄漏检查，由于HYDRO·S软件限制水蒸汽本底，使它有可能快速进入高灵敏的测量范围。

·快速抽空，由于对空气的高抽速。

·低使用成本(TCO)由于无需维护的罗茨粗抽泵。

低的运行和维护成本

维护费用低，使用寿命长:

·坚实耐用的真空系统

·加固的离子源,长达三年保修期

易于进入应用区域

·小型和坚实的结构,稳定和良好的移动性

·重心低，易搬运

·大胶轮,易于翻越障码物

典型的应用

■INFICON 检漏仪日常用于大型半导体生产中

■各种过程工艺包括:刻蚀.CVD,PVD,真空炉,离子注入，MOCVD,太阳能,FPD 等

■工艺维护后快速确认工艺的完整性和应修复的漏孔部位

■在次级生产中的真空管线和泵

■气柜和复杂的气体输送管线

■生产设施和治理

易检测大漏孔

可非常快地检测大漏孔,由于不再需要等待系统抽空。这得益于:

■大漏检测功能(专用的泵/阀组功能)

​https://www.chem17.com/st582684/product_37935346.html
http://www.libudi.com.cn/SonList-2494578.html