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纳米定位台

纳米位移台是现阶段精密度较高的检测仪器，普遍用以各种各样规定较为高的场地，非常是真空泵和超低温场地，应用它能够开展的测量。纳米位移台采用闭循环系统实际操作，电动位移台，大行程安排是20cm，紧凑型的设计方案能够出示毫米的产生，本身负荷力大，采用单一定位设备能够完成粗靠近和细致扫描仪二种实际操作，电动位移台安裝，再加其有非常高的可靠性，因此不容易存有机械设备洒脱的状况。

纳米定位台如何满足纳米调节使用？

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性的功能之IC产品。要求较高的不仅是我们想象的要在豌豆大小的面积上集成上以百万计的电子元器件，另外对于生产好的晶圆进行切割（分离）也是一项难题，然而切割技术的不成熟造成了50%以上的浪费，所以提高晶圆切割技术水平很是必要。

根据纳米定位台的Z轴大量程移动范围，高刚度的保证，微秒级的动态响应时间，超小的迟滞，稳定工作负载都符合行业领域指标。

纳米定位台使用新双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业，拥有精良的动态性能和精度。纳米定位平台提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。

安装步骤和注意事项

安装前首先要进行安全检查，如连接线有无破损、断线，驱动电源有无接地保护等。

压电纳米定位台安装步骤如下：

1、确保安装平面较平；

2、用螺钉固定平台，拧紧；

3、连接接地保护

4、安装负载，适当拧紧以确保定位精度；

5、将产品连接线按连接器头处标识与控制器对应接口连接起来；

注意事项：

l 安装负载时缓慢拧紧负载，扭矩不要太大，以免损伤机构；

l 避免拉伸电缆和弯曲电缆；

l 不要擅自延长电缆，