mask aligner半自动光刻机
光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统,光刻机,紫外曝光机等。
广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;该公司是目前世界上较早将光刻机商品化的公司之一,拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力;并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用;以优秀的技术、工艺和良好的服务,赢得了用户的青睐。
主要特点:
光源强度可控;
1、紫外曝光,深紫外曝光(Option);
2、系统控制:手动、半自动和全自动控制;
3、曝光模式:真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式;
4、真空吸盘范围可调;
5、技术:可双面对准,可双面光刻,具有IR和CCD模式
6、双CCD显微镜系统,最大放大1000倍,显示屏直接调节,比传统目镜对准更方便快捷,易于操作。
7、特殊的基底卡盘可定做;
8、具有楔形补偿功能;
更多详情:http://www.airtest.net.cn/Products-30824045.html
https://www.chem17.com/st17159/product_30824045.html
原文链接:http://www.wxjsj.net/hangqing/show-18183.html,转载和复制请保留此链接。
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