LED无尘车间设计施工

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详细说明

LED无尘车间生产环境要求：

LED无尘车间生产环境要求：

洁净室的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。

当出现下列情况之一时，空气净化调节系统宜分开设置：

2 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室；

3 净化空调系统和一般空调系统；

4 洁净室内工艺设备发热、散湿量相差悬殊的洁净室；

5 系统风量过大的净化空调系统。

换鞋间应设置不低于10次／h的全室排风系统，排风口宜设置在下部；换鞋柜宜设置局部排风措施；一次更衣间宜设置不低于5次／h的全室排风系统。

净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组的设置应符合下列规定：

1 送风机应采取自动调速措施；

2 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；

3 新风处理机组应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1％。

光刻间净化空气调节系统的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理，其他洁净室净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理。

金属化合物化学气相沉积间的净化空气调节系统应独立设置。

循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气。

循环空气处理机组的风机应采取自动调速措施。

空调加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用。

净化空气调节系统的新风吸入口位置，应远离排放有害物或可燃物的排气口。

上技术夹层净高应按照空调设备、管线布置、洁净气流控制等因素确定，不宜低于2m。

发光二极管生产宜包括外延片生长、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封装三部分。