产品规格
QCM传感器输入 标准型: 2;路 可选: 4路
频率范围 1-10 MHz
频率分辨率 标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性 在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期 0.10 to 2 sec (每级增量0.05 sec)
测量选择 1 to 20 readings
存储膜系 99
模拟输出 2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出 2 路数字输入, 4路继电输出
数字接口 标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识 Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量 2.7 Kg (6 lbs)
Windows软件(included) 提供远程安装和操作指导,数据录入功能
定货信息
附件
782-900-008 单台SQM-160 19"安装支架
782-900-014 双台SQM-160 19"安装支架
782-502-062 4传感器输入扩展卡
(将标准型2路扩展到6路)
782-900-042 高分辨率选件
(此项需在工厂中完成安装)
782-900-040 USB选择卡
782-900-041 以太网选择卡
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