冷阴极和皮拉尼的复合真空规

INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性. MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规的详细介绍 优点： ■复合真空规—冷阴极与皮拉尼 ■宽的压强测量范围从5X10^-9毫巴至大气压 ■无可烧毁的灯丝 ■的引燃功能 ■易清洗 ■FPM或金属密封的馈入件 ■高压加上时LED指示灯亮 ■对数模拟输出讯号 应用： ■高真空压强监测 ■蒸发和溅射系统的压强测量 ■一般真空测量和控制，从中至高真空范围 技术参数：

测量范围 (空气, N2)	毫巴(乇)	5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴	% 读值	≈±30%
重复性1 x 10-8 … 100毫巴	% 读值	≈±5%
安装方向		任何
允许压强	巴()	≤10 (限于惰性气体)
允许温度 工作 (室温) 贮存  烘烤 1) 灯丝温度 (皮拉尼)	°C °C °C °C	+5 … +55 –40 … +65 150 120
电源电压
在规管上	V DC	+15 … +30
在供电单元上, 电缆长度 2)	V DC	+16 … +30
纹波	Vpp	≤1
功耗	W	≤2
连接保险丝	AT	≤1
输出讯号(测量讯号)
电压范围	V	0 … +10.5
测量范围	V	+1.82 … +8.6
电压与压强的关系		对数, 0.6 V/量级
误差讯号	V	<0.5 (无电源)
	V	>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂)
输出阻抗	?	2 x 10
负载阻抗	k?	10, 短路保护
响应时间      p > 10毫巴 -6	毫秒	<10
p = 10-8 毫巴	毫秒	≈1000
规管标识	k?	85, 参考电源公共点
状态
仅皮拉尼模式	V	0 (低)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式	V	15 … 30 (高)
指示灯	LED 绿色	高压on
电气连接		FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型
传感器电缆		8芯,加屏蔽
电缆长度	米	≤50 (8 x 0.14 毫米2)
工作电压	千伏	≤3.3
工作电流	微安	≤500
暴露于真空的材料		不锈钢, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W	不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W
内容积	厘米3	≈20
重量
DN 25 ISO-KF	克	≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF	克	≈720 ≈750
DN 40 CF-F	克	≈980 ≈1010
保护级别		IP 40
标准		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1