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6514型静电计具有灵活的接口性能，其电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度都优于我们之前的静电计。6514内置式IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。 * <1fA 噪声 * 电压测量时，输入阻抗>200TΩ * 电荷测量范围 10fC-20µC * 速度可达1200个读数/秒 * 简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器 * 主动消除电压与电流的偏移
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