日本新宇宙半导体特气检漏仪XP-703DIII

 型 号  XP-703D 检测对象气体 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） 检测原理 热线型半导体式 采样方式 自动吸引式 可检测浓度 （单位：ppm） 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 应答速度 10秒以内