MKS GE250A质量流量控制器

MKS GE250A是通用的弹性密封的MFC，非常适用于大流量质量流量计或质量流量控制器的各种各样要求，流量范围从100-250slm，GE250A MFC设计有获得MKS的热传感器技术与机械设计，有模拟与数字I/O的常用性通讯模式，利用了MKS控制算法，提供设定点的快速和可重复性的响应。GE250A精度为1%，精度控制为2%至满量程，优于很多典型质量流量控制器。

MKS GE250A特点：

快速响应的设定点保证流量的稳定性

严格控制的工艺气体流量精度可以改进工艺的匹配

降低了进气压力（压差）的要求，简化了气的供应调控

新的设计降低了整体成本

在很宽的量程范围有精确的流量控制，减少了一个额外的低范围的MFC

设计上很易于集成与操作

通过标准的以太网接口的设备配置和诊断简单。

使用标准的Web浏览器不需要任何特殊的软件

CE认证与RoHS要求

MKS GE250A的技术参数

量程范围：100-250slm

进气口压力：150pisa

正常工作压差：30-55左右（大气压力在出口）

控制范围：2%至

精度：读数的20%到 ±1%

5%到20% ±0.25%

重复性：读数0.5%

工作的环境温度：10-50℃

MKS GE250A的订购资料：