INFICON 反磁控皮拉尼真空计, MPG400 和 MPG401, 测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压 (3.8 x 10-9 乇至大气压). 将两种技术复合在带有对数模拟输出的简单小型规管中, 大大地降低安装, 设置和集成的复杂性.
瑞士Inficon英福康真空计 MPG400/MPG401反磁控(冷阴极)皮拉尼真空计优势:
复合真空计—反磁控和皮拉尼
宽的测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
的点燃特性
易清洗
FPM 或金属密封的馈入件
LED 指示灯用于高电压 on
对数模拟输出讯号
瑞士Inficon英福康真空计 MPG400/MPG401反磁控(冷阴极)皮拉尼真空计应用:
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的基本压强
中高真空范围的一般真空测量和控制
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