979b系列大气真空(ATV)传感器是一个通用的真空换能器提供从10-10乇大气压力测量范围宽。 979B 该979b结合了基于MEMS技术的micropirani和小型化的热阴极. 979B 为简化计传感器集成在一个单一的住房。该979b可通过操作数字通信(RS232或RS485)或作为一个自治的模拟装置。德加和丝的选择可以通过数字通信控制,按钮控制从顶部面板或模拟连接。
美国MKS真空计 MKS 979B系列全量程真空计优势:
单传感器提供了一个广泛的测量大气10-10 Torr的范围内1传感器消除了复杂的流形,布线和控制要求
Both analog and digital communication
模拟和数字通信便于操作
MicroPirani is automatically zeroed during
micropirani自动归零的过程中为提高精度的循环泵
MicroPirani technology allows for hot
micropirani技术允许热在较低的压力下,阴极灯丝控制改进灯丝寿命
Two yttria-coated filaments designed for
两钇涂层的花丝设计延长寿命
Patented degas function for ease of
易于脱气功能控制和延长灯丝寿命
Mountable in any orientation for easy
安装在任何方向容易installation安装
Smoothed analog output (0.5 VDC per
平滑的模拟输出(0.5伏)的简化的集成
3 user configurable relays for process
3用户可配置的继电器的过程控制
Can be use as a standalone transducer
可以作为一个独立的传感器或与pdr900显示器和控制器容易设置
RoHS and CE Compliant
CE和ROHS标准
美国MKS真空计 MKS 979B系列全量程真空计应用:
979b是理想的测量气氛,特高压。典型的应用,包括半导体,薄膜涂层,分析仪器和高能量物理学。这些应用需要长长期的稳定性和准确性,将受益从MEMS传感器技术,基于微处理器的数字技术。多传感器的设计使系列979B 理想的系统集成商和在这些市场上的设备制造商。需要两个电源的客户 979B 显示可以使用979b与PDR900 900系列控制器。
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