Inficon CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计,设计用于在严酷的制造工具环境中,具有稳定的性能。数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点。如:一键调零的功能和设点调整;抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性;以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命。的传感器屏蔽 (申请) 保护真空计防止过程污染, 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性,长期稳定性和温度补偿能力。 CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准。
瑞士Inficon英福康真空计 CDG025D电容膜片式真空计优势:
全量程范围从100毫乇 … 1000乇
加电源后快速稳定性
从大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
的长期讯号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能
宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
瑞士Inficon英福康真空计 CDG025D电容膜片式真空计用途:
半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据贮存和显示器制造设备
工业真空设备
一般高精度压强测量
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