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1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1479A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2%to的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20PinCardedge.
数字：RS485或Devicenet或Profibus
法兰接口：Swagelok4VCR，Swagelok4VCO，Swage1/4”等
材质：316不锈钢。
MKS 1479A质量流量控制器订购资料
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例：型号14790A00411CR1A6MXX |
订购序列号 |
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1479A质量流量控制器 |
1479A |
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校准气体 |
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氦气He |
001 |
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氩气Ar |
004 |
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氢气H2 |
007 |
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氮气N2 |
013 |
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氧气O2 |
015 |
|
其他气体 |
可选 |
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校准流量Sccm |
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10 |
11C |
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20 |
21C |
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50 |
51C |
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100 |
12C |
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200 |
22C |
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500 |
52C |
|
1000 |
13C |
|
2000 |
23C |
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5000 |
53C |
|
10000 |
14C |
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20000 |
24C |
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装配件 |
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4 VCR凸接头 |
R |
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4 VCO管道 |
G |
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0.25英寸管道 |
S |
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C-密封 |
C |
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W-密封 |
H |
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阀门 |
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常闭 |
1 |
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连接器 |
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9针D型 |
A |
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15针D型 |
B |
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20针边缘卡接口 |
C |
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密封 |
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金属 |
M |
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固化软件版本 |
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MKS会安装订购时软件版本 |
XX |
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